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Title: Desenvolvimento de um sistema para detecção de gás co2 utilizando filmes finos de óxido de estanho dopado com flúor
Authors: ROSSINI, Marcelo
metadata.dc.contributor.advisor: ZAMBOM, Luís da Silva
DEGASPERI, Francisco Tadeu
metadata.dc.contributor.other: HERNANDEZ, Leonardo Frois
RANGEL, Ricardo Cardoso
metadata.dc.type: Monografia
Keywords: Dióxido de carbono;Gases - emissão;Sensores eletromecânicos;Tecnologia do vácuo
Issue Date: 2020
Publisher: 002
Citation: ROSSINI, Marcelo. Desenvolvimento de um sistema para detecção de gás co2 utilizando filmes finos de óxido de estanho dopado com flúor, 2020. Trabalho de conclusão de curso (Curso Superior de Tecnologia em Microeletrônica) – Faculdade de Tecnologia de São Paulo, São Paulo, 2020.
Abstract: O gás CO2 mesmo não sendo venenoso pode trazer diversos malefícios aos seres vivos, e até matar. O sensor de filme fino de óxido de estanho dopado com flúor foi usado, neste trabalho, para a detecção ao gás CO2 e o seu principal mecanismo de detecção se dá pela adsorção das partículas de O2 - , na superfície do sensor, que ao aprisionar elétrons diminui a condutividade elétrica. Assim utilizando um multímetro pode-se verificar a variação da resistência elétrica. A dopagem com flúor ajuda na redução da resistividade elétrica e seletividade ao gás CO2. As amostras foram fabricadas nos laboratórios da FATEC-SP, as lâminas passaram pelos processos de limpeza; algumas pela oxidação térmica para a criação do óxido de silício sobre o substrato de silício; evaporação térmica, usando interdigitais, para a deposição do alumínio e Sputtering DC (em ambiente de O2) para a deposição do filme fino de óxido de estanho dopado com flúor. Apenas para testar foi criado um sistema mais simples usando bicarbonato de sódio e vinagre, para liberação de CO2. Depois foi montado um sistema de vácuo para realizar as medições. O sistema é composto de uma bomba mecânica de palhetas, para reduzir a pressão interna da câmara; válvulas para controlar a entrada (CO2) e saída de gases; um sensor de membrana capacitiva (para monitorar a pressão interna); contatos elétricos que se ligam ao multímetro para fazer a leitura da resistência elétrica do sensor ao entrar em contato com o gás e um prato quente, para realizar experimentos com aquecimento de até 90°C. Em relação à resposta ao CO2 os resultados não foram satisfatórios a temperatura ambiente, mas obtiveram certa melhora para as amostras que passaram por tratamento térmico ou ao serem aquecidas durante a medição.
URI: http://ric.cps.sp.gov.br/handle/123456789/4911
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