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https://ric.cps.sp.gov.br/handle/123456789/10222| Title: | Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos |
| Authors: | SECCO, Kevin Machado Sanches |
| Advisor: | DEGASPERI, Francisco Tadeu SOUSA, Gabriel Geidson Johanson de |
| type of document: | Monografia |
| Keywords: | Microeletrônica;Tecnologia do vácuo;Sistemas de modelagem;Modelos matemáticos |
| Issue Date: | Aug-2022 |
| Publisher: | 002 |
| Citation: | SECCO, Kevin Machado Sanches. Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos, 2022. Trabalho de conclusão de curso (Curso Superior de Tecnologia em Microeletrônica) – Faculdade de Tecnologia de São Paulo, São Paulo, 2022. |
| Abstract: | Este trabalho trata sobre modelagem matemática de sistemas de vácuo, mais especificamente, do bombeamento da pressão em função do tempo para um arranjo de vácuo com duas câmaras isovolumétricas. Para a resolução da equação do processo de bombeamento são usados métodos numéricos e o software Scilab. This work deals with mathematical modeling of vacuum systems, more specifically, pumping pressure as a function of time for a vacuum arrangement with two isovolumetric chambers. Numerical methods and Scilab software are used to solve the pumping process equation. |
| URI: | http://ric.cps.sp.gov.br/handle/123456789/10222 |
| Appears in Collections: | Trabalhos de conclusão de curso |
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