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Title: Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos
Authors: SECCO, Kevin Machado Sanches
metadata.dc.contributor.advisor: DEGASPERI, Francisco Tadeu
SOUSA, Gabriel Geidson Johanson de
metadata.dc.type: Monografia
Keywords: Microeletrônica;Tecnologia do vácuo;Sistemas de modelagem;Modelos matemáticos
Issue Date: Aug-2022
Publisher: 002
Citation: SECCO, Kevin Machado Sanches. Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos, 2022. Trabalho de conclusão de curso (Curso Superior de Tecnologia em Microeletrônica) – Faculdade de Tecnologia de São Paulo, São Paulo, 2022.
Abstract: Este trabalho trata sobre modelagem matemática de sistemas de vácuo, mais especificamente, do bombeamento da pressão em função do tempo para um arranjo de vácuo com duas câmaras isovolumétricas. Para a resolução da equação do processo de bombeamento são usados métodos numéricos e o software Scilab.
This work deals with mathematical modeling of vacuum systems, more specifically, pumping pressure as a function of time for a vacuum arrangement with two isovolumetric chambers. Numerical methods and Scilab software are used to solve the pumping process equation.
URI: http://ric.cps.sp.gov.br/handle/123456789/10222
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