Browsing by Subject Plasma (microeletrônica)
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| Title | Author(s) | ???itemlist.dc.contributor.advisor??? | Type | Issue Date |
|---|---|---|---|---|
| Deposição de filmes finos de SiO2 na câmara MPECVD por plasma de micro-ondas gerados por cavidade ressonante | VIVEIRO, Rafael Henry de | OZONO, Edson Moriyoshi | Monografia | 22-Jun-2023 |
| Estudo do efeito da água ativada por plasma no crescimento de plantas | FILGUEIRA, Gabriel de Almeida | YAMAMOTO, Roberto Katsuhiro | Monografia | 2020 |
| Estudo e confecção de uma câmara MPECVD de micro-ondas para deposição de óxido de silício | TEIXEIRA, Aryane Maria Valentim | OZONO, Edson Moriyoshi | Monografia | 2021 |
